Producator: FEI
Model: QUANTA 450 FEG
Anul de productie: 2015
Descriere:
Rezolutia minima in imagistica cu electroni secundari la 30kV:
- 1 nm sau mai buna in modul de lucru la vid inalt
- 5 nm sau mai buna in modul de lucru la vid scazut
Controlul temperaturii cu precizie pe un domeniu de temperatura intre -20 C si +60 C
Mixarea color a imaginilor direct achizitionate de la 2 sau 3 detectori independenti pentru obtinerea unei imagini in pseudoculori pentru evidentierea semnalului de imprastiere unghiulara sau energetiica.
Achizitia simultana, la o singura scanare, a 4 imagini cu surse diferite (detectori sau segmentele aceluiasi detector) pentru scaderea timpului de scanare.
1) Detector convenţional Everhart-Thornley (SED) pentru detecţia semnalului de electroni secundari (SE), poate functiona in doua moduri – SE si BSE- functie de polarizare.
2) Detector de electroni secundari în mediul gazos cu câmp larg de vizionare Large Field Detector-Gaseous Secondary Electrons Detector (LF-GSED) pentru imagistică în vid scăzut, atât la tensiuni înalte cât şi joase.
3) Detectorul Gaseous Secondary Electrons Detector (GSED) optimizat pentru imagistica de electroni secundari in vid ultra-scazut (ESEM) şi mediu gazos.
4) Detectorul direcţional de electroni retro-împrăştiaţi Solid State – Directional Back-Scattered Detector (DBS) optimizat pentru lucrul în High Vacuum şi Low Vacuum pentru imagistică de compoziţie si topografie a suprafeţei studiate prin detecţia electronilor retroîmprăştiaţi de probă sub unghiuri diferite, de la 0º până la 90º.
5) Detector de electroni secundari (SE) montat în coloană In-Column Detector (ICD) este un detector cu scintilaţie care are posibilitatea ca în modul de lucru cu decelerare de fascicol în vid înalt să detecteze semnalul SE cu o rezoluţie de 1.0 nm.
6) Detector STEM cu semiconductori pentru imagistică de înaltă rezoluţie în câmp luminos (bright field) şi în câmp întunecat (dark field) pentru probele de densitate joasă preparate pentru TEM (ex. secţionate transversal cu fascicul focalizat de ioni) şi măsurarea dimensiunilor critice.
7) Detector WetSTEM şi controlerul de temperatură Peltier/Heating Stage Control Kit care oferă posibilitatea analizelor probelor subtiri sau groase (bulk) complet hidratate, oferind posibilitatea controlului atât al temperaturii cât şi al presiunii pe timpul vizualizării şi analizării probelor studiate.
8) Detectorul EDS cu tehnologia Silicon Drift (SDD) –EDAX Octane Plus
9) Cameră IR-CCD pentru vizualizarea şi poziţionarea în siguranţă a probei.
10) Cameră optica CCD color, denumită Nav-Cam 450, pentru vizualizarea globala a probei în vederea realizării unei navigări usoare şi intuitive.
